نام دستگاه لاتین: Field Emission Scanning Electron Microscope
به تفاوت بین میکروسکوپ الکترونی معمولی و میکروسکوپ الکترونی Field Emmission میتوان به نکات زیر اشاره کرد:
در میکروسکوپ الکترونی معمولی از فیلامنت تنگستنی به عنوان منبع تولیدپرتوی الکترونی استفاده میشود که قدرت کمی در متمرکز کردن پرتوی الکترونی بر روی هدف دارد که این امر موجب کاهش وضوح تصویر میشود، در میکروسکوپ الکترونی Field Emmission ازتک کریستال برای تولید پرتوی الکترونها استفاده میشود که فوکوس بسیار بالایی بر روی ناحیه هدف داشته و تا بزرگنمایی های بسیار بالا در حدود ۷۰۰۰۰۰ برابر نیز همچنان کیفیت تصویرحفظ میشود.
نسل جدید میکروسکوپ های الکترونی FESEM به دلیل قدرت بالای متمرکز کردن ستون الکترونی گسیل شده میتواند نمونه هایی را هم که دارای اکسید و یا سایر آلودگی ها میباشند به خوبی بررسی نماید.
تفاوت دیگر در میکروسکوپ FESEM نسبت به SEM این مطلب میباشد که در این میکروسکوپ دیگر نیازی به پوشش طلابرای بررسی سطح نمونه عایق نیست و بدون پوشش طلا نیز بررسی سطح نمونه امکانپذیر میباشد.
توانایی بررسی سطح مواد مغناطیسی اشاره کرد که در میکروسکوپ های الکترونی معمولی به دلیل انحراف پرتوی الکترونی امکان پذیر نمی باشد.
مزیت دیگر این دستگاه قابلیت کارکرد صحیح در دو حالت خلاء پایین و بالا میباشد که برای بررسی برخی نمونه های مرطوب و روغنی بسیار مناسب میباشد.
مهمترین تفاوت این دو نوع میکروسکوپ در نحوه تولید الکترون ها میباشد که در میکروسکوپ معمولی با حرارت دادن فیلامنت تنگستنی یا هگزابریدی(LaB6) الکترونها از فیلامنت جدا میشوند که این امر باعث آلودگی سطح نمونه می شود، حال آنکه در FESEM به دلیل اختلاف پتانسیل بسیار بالا الکترونها از تک کریستال جدا میشوند و به سمت نمونه گسیل میشوند.
تهیه تصاویر میکروسکوپی با بزرگنمایی و قدرت تفکیک بالا در حد نانو متر
تهیه آنالیز نیمه کمی توسط آنالیزور EDS برای عناصر بالاتر از بور(B) و نمونه های مجهول
تهیه آنالیز منطقه ای، آنالیز نقطه ای، آنالیز خطی و آنالیز صفحه ای
تعیین جنس و ضخامت پوششهای چند لایه با ضخامت کمتر از ۱ میکرو متر
تهیه تصاویر با ولتاژ پایین جهت نمونه های بیو لوژیکی، پلیمری و اتصالات سطحی نمونه ها
تهیه تصاویر ۳ بعدی نمونه ها
شکست نگاری و بررسی مورفولوژی انواع نمونه ها(پودری، بالک و …)
تعیین اندازه ذرات پودرها در اندازه نانو متر
امکان انجام آنالیز تصویری از نمونه های خاص